کد تعرفه: 28129010
شرح (فارسی)
نیتروژن تریفلوئوراید به عنوان یک ترکیب شیمیایی معدنی از گروه هالیدهای غیرفلزی.
Description (English)
Nitrogen trifluoride, an inorganic chemical compound classified under non-metal halides.
توضیحات تکمیلی (هوش مصنوعی)
نیتروژن تریفلوئوراید یک گاز بیرنگ، بیبو و غیرقابل اشتعال است که به طور گسترده در صنایع الکترونیک و فناوریهای پیشرفته کاربرد دارد. این ماده عمدتاً به عنوان یک عامل پاککننده بسیار مؤثر برای تمیز کردن محفظههای واکنش در فرآیند تولید تجهیزات نیمههادی، صفحات نمایش تخت (مانند LCD و LED) و سلولهای خورشیدی استفاده میشود تا رسوبات ناخواسته سیلیکونی را بدون آسیب به تجهیزات پاکسازی کند.
علاوه بر کاربرد در پاکسازی پلاسمایی، این گاز در فرآیندهای حکاکی ظریف و دقیق (Etching) در صنایع میکروالکترونیک نیز به کار میرود. به دلیل پایداری بالا و اثرات زیستمحیطی آن به عنوان یک گاز گلخانهای قوی، تجارت، حملونقل و مصرف این ماده تحت کنترلها و استانداردهای ایمنی و زیستمحیطی ویژهای قرار دارد.
مسیر دستهبندی
- محصولات صنایع شیمیایی یا صنایع وابسته به آن
- مواد شیمیایی معدنی؛ ترکیبات آلی و معدنی فلزات گرانبها، فلزات کمیاب، عناصر رادیواکتیو و ایزوتوپها Inorganic chemicals; organic and inorganic compounds of precious metals; of rare earth metals, of radio-active elements and of isotopes
- هاليدها و اكسيدهاي هاليد فلزات غيرآهني Halides and halide oxides of non-metals
- هاليدها و اكسيدهاي هاليد فلزات غيرآهني؛ به استثناي كلريدها Halides and halide oxides of non-metals; excluding chloride